电感耦合等离子体质谱法（英语：Inductively coupled plasma mass spectrometry，简称ICP-MS）拥有高的分析灵敏度和动态范围，可以分析同位素组成，从Li到U（Ar除外，一般电感耦合等离子体都用Ar做载气）。电感耦合等离子体质谱仪主要组成部分是：ICP-MS可以于GC(气相色谱法)、HPLC（高效液相色谱法）等方法联用，用于元素形态分析。优点是灵敏度高，动态范围宽阔，测试速度快，可以进行同位素分析。缺点是对操作人员技术要求高，对环境要求高，运行成本和仪器售价很高，