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氟甲烷
2020-06-15 11:13:01

0.557 g/cm3(25°C气体,饱和蒸气压)

氟甲烷,也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41,其化学式为CH3F,在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体,是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中,在射频场下氟甲烷会溶解氟离子,可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜,即反应性离子蚀刻(reactive-ion etching)。

在氟甲烷中,C-F键的键能为552 kJ/mol,其键长为0.139 nm(典型的C-F键键长为0.14 nm)。分子构型为四面体。

氟甲烷25度时的比热Cp为38.171 J.mol−1.K−1。临界点为44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。

氟甲烷是温室气体,其全球暖化潜势(GWP)为150。

CH3F · CH3Cl · CH3Br · CH3I

CH2F2 · CH2ClF · CH2BrF · CH2FI · CH2Cl2 · CH2BrCl · CH2ClI · CH2Br2 · CH2BrI · CH2I2

CHF3 · CHClF2 · CHBrF2 · CHF2I · CHCl2F · CHBrClF* · CHClFI* · CHBr2F · CHBrFI* · CHFI2 · CHCl3 · CHBrCl2 · CHCl2I · CHBr2Cl · CHBrClI* · CHClI2 · CHBr3 · CHBr2I · CHBrI2 · CHI3

CF4 · CClF3 · CBrF3 · CF3I · CCl2F2 · CF2BrCl · CClF2I · CBr2F2 · CBrF2I · CF2I2 · CCl3F · CBrCl2F · CCl2FI · CBr2ClF · CBrClFI* · CClFI2 · CBr3F · CBr2FI · CBrFI2 · CFI3 · CCl4 · CBrCl3 · CCl3I · CBr2Cl2 · CBrCl2I · CCl2I2 · CBr3Cl · CBr2ClI · CBrClI2 · CClI3 · CBr4 · CBr3I · CBr2I2 · CBrI3 · CI4

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